ÀÚ±âÇнÇÇè½Ç(MagLAB) ±¸ (old) °Ô½ÃÆÇÀÔ´Ï´Ù. |
---|
2001/07/04 (14:15) from 211.179.138.66' of 211.179.138.66' | Article Number : 450 |
MagLAB (MagLAB@hitel.net) | Access : 360 , Lines : 50 |
Re: ÀÚ¼º¹Ú¸·ÀÇ Á¦Á¶¹ý°ú ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡ °üÇؼ... |
---|
Ç㿵¼ø wrote: >Àú´Â Àç·á°øÇаú¿¡ ÀçÇÐÁßÀÎ ÇлýÀä... >ÀÌ ÀڷḦ ¾Æ¹«¸® ã¾Æµµ ¸ø ã°Ú±æ·¡ ÀÌ·¸°Ô µµ¿òÀ» >ûÇÕ´Ï´Ù... ¾Æ½Ã´ÂºÐ Á¦¹ß Á» µµ¿Í ÁÖ¼¼¿ä¤Ð.¤Ð >³Ê¹« ±ÞÇÕ´Ï´Ù... ************************************************************************* ¾È³çÇϼ¼¿ä. MagLABÀÔ´Ï´Ù. ½ÇÇè½Ç¿¡¼ ÀÚ¼º¹Ú¸·À» Á¦Á¶ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀº Áø°ø è¹ö (vacuum chamber) ¼Ó¿¡¼ ÀÚ¼º¹°ÁúÀ» ¿ ȤÀº °¡¼ÓµÈ À̿ºöÀ» ÀÌ¿ë Áø°ø¼Ó¿¡ ³¯·Áº¸³»°í, ÁõÂø½ÃÅ°°íÀÚ ÇÏ´Â plate ÁõÂøÀÌ µÇµµ·Ï ÇÕ´Ï´Ù. À̶§ ÁõÂøµÇ´Â µÎ²²´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¼öÁ¤ Áøµ¿ÀÚ·Î ±¸¼ºµÈ thickness monitor¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¾Ë¾Æº¸´Âµ¥ ÀÌ°ÍÀÇ ¼öÁ¤ÆÇ¿¡ ¹°ÁúÀÌ ÁõÂøµÇ¸é Áøµ¿¼ö°¡ º¯ÈÇÏ°Ô µÇ´Â ¼ºÁúÀ» ÀÌ¿ëÇÑ °ÍÀÌÁö¿ä. ÀÚ¼º¹Ú¸·À» Á¦Á¶ÇÒ¶§ ÀÚ¼º¹°Áú·Î¸¸ ÄÚÆÃÀ» ÇÏ´Â °æ¿ìµµ ÀÖÁö¸¸ ÀÚ¼º¹Ú¸·°ú ÀÚ¼º ¹Ú¸· »çÀÌ¿¡ ºñÀÚ¼º ¹Ú¸·À» Çü¼º½ÃÅ°´Â °æ¿ì°¡ ¸¹½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÀÚ¼º¹Ú¸·ÀÇ ÀÀ¿ëÀº ÀÚ¼º¹Ú¸·ÀÇ GMR (Gient Magneto Risistor - °Å´ëÀÚ±â ÀúÇ×)¼ºÁúÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ¼¾¼ÀÇ ¹°Áú·Î ¸¹ÀÌ È°¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ Áø°øÁß¿¡ ÀÏÁ¤ÇÑ ÀÚ±âÀåÀ» Àΰ¡ÇÏ¿© ÀÚ¼º ¹Ú¸·ÀÇ magnetic anisotropy¸¦ ÀÎÀ§ÀûÀ¸·Î À¯µµÇÏ¿© ÁõÂøÀ» ÇÏ´Â °æ¿ìµµ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÚ¼¼ÇÑ °ÍÀº Ç㿵¼ø´ÔÀÇ Áָ鿡 ¹°¸®Çаú¿¡ ´Ù´Ï´Â ÇлýÀÌ ÀÖ´Ù¸é, Çö´ë¹°¸® ½ÇÇè, ȤÀº °í±Þ¹°¸® ½ÇÇè¿¡ ÀÌ·¯ÇÑ ½ÇÇèÀ» ÇÒ°ÍÀε¥ ½ÇÇè ¸Þ´º¾óÀ» º¸¸é ÀÚ¼¼ÇÏ°Ô ³ª¿Ã °ÍÀÔ´Ï´Ù. ÀÎÅͳݿ¡¼ °Ë»öÀ» ÇϽ÷Á¸é °Ë»ö¾î¸¦ ¹Ú¸·Á¦Á¶, GMR, MR, Áø°øÁõÂø, ÀÚ¼ºÀç·á µîÀÇ °Ë»ö¾î¸¦ ÀÔ·ÂÇØ º¸¼¼¿ä. ¸¹Àº °Ë»öÀÌ °¡´ÉÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù. µµ¿òÀÌ µÇ¼Ì±æ ¹Ù¶ø´Ï´Ù. - MagLAB - |